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Tropel FlatMaster MSP150 平面度测量系统

快速,准确的测量表面各项平面度及厚度参数 。

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       Tropel MSP150可以测量直径为150mm的各类晶体材料(蓝宝石,碳化硅,砷化镓,玻璃等)的平面度、厚度和厚度公差,对3DIC集成至关重要。传统的接触式测量仪或者普通干涉仪在应对大尺寸晶片时存在测量速度过慢或者没有足够测量精度的缺点。
       Tropel MSP150采用先进的步进式激光源可以快速、准确的测量150mm直径的晶片。在很短的时间内测量整个平面并收集超过300万点数据,构造真实三维立体图形。高精度、快速、高重复性、全面测量是Tropel MSP150是业界其他测量设备的没有的优势。


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