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Flatmaster 200美国康宁平面度仪

美国康宁Corning Tropel Flat Master 200平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界L先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flat Master 200平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

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       美国康宁Corning Tropel  Flat Master系列平面度测量系统基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和应用光学等材料科学和制程工艺领域的知识, CORNING 创造并制造出了众多被用于高科技消费电子、移动排放控制、通讯和平板显示等科学领域产品的关键检测设备。
       美国康宁Corning Tropel Flat Master 200平面度仪也称为平整度仪、平坦度仪,为精密部件的制造商提供了业界ling先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。Flat Master 200平面度仪能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

Flat Master 200平面度仪产品特点:
➤ 无接触和无损伤测量
➤ 适用多种类型材料:半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
➤ 适用多种类型晶片:硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
➤ 适用多种类型表面:研磨表面,抛光面,光滑面
Flat Master 200平面度仪可测量多种不同指标:
➤ 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓
➤ 完整的分析系统
➤ 三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度
➤ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量
➤ 超过15年的工业应用,全球几百台的装机量
Flat Master 200平面度仪的技术参数:
1)精度:50nm (2。0μ″)
2)重复性:15 nm(0。6μ″)(1 sigma)
3)分辨率:5nm (0。2μ″)
4)可测量工件尺寸:25mm-200mm
5)动态测量范围:>100um
6)测量数据点:230,000 / measurement
7)测量时间:5秒
8)电源:220V 50Hz


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