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美国Corning平面度测量系统FlatMaster 100

美国康宁Corning Tropel Flatmaster 100平面度仪,为精密部件的制造商提供了业界*先的平面度及表面形态测量。通过非接触式光学测量技术能在很短的时间内记录下整个表面的数据。

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Tropel FlatMaster 100

平面度测量仪 快速、准确地测量经粗磨、研磨、精磨、抛光和精加工的部件

Flatmaster 100平面度仪提供了五种纳米级的解析度和高达50纳米的标准精度,能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型、半径和其他表面参数进行精密测量。

Tropel Flat master 100平面度仪技术特点及应用领域:
➭ 无接触和无损伤测量
➭ 适用多种类型材料:
半导体,金属,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
➭ 适用多种类型晶片:
硅/蓝宝石/碳化硅/砷化镓/石英/锗/铌酸锂
➭ 适用多种类型表面:
研磨表面,抛光面、光滑面

可测量多种指标
完整的分析系统
● 厚度
● TTV
● SORI
● LTV
● LDOF
● 压力

● 翘曲度
● 弯曲度
● 平坦度
● 平面度
● 线轮廓
● 表面轮廓

● 三维
● 拓扑
● 合格率
● 分布
● 二维环形
● 半径切面

● 平面
● 球面
● 锥形匹配
● 局部平面度分析
● 斜度

技术参数:

➣ 精度:50nm (2.0μ″)
➣ 重复性:15 nm(0。6μ″)(1 sigma)
➣ 分辨率:5nm (0.2μ″)
➣ 可测量工件尺寸:25mm-100mm(更小工件也可提供)
➣ 动态测量范围:>100um
➣ 测量数据点:230,000 / measurement
➣ 测量时间:5秒
➣ 电源: ~220V 50Hz

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